BEXR-260R-W-LEDLED光源 雙列 近接曝光設備
Roll to Roll
2 Lines Proximity Exposure System
| 設備 |
卷式 雙列 LED平行光曝光機 |
| LED光源 | 高照度 LED光源系統 |
| 長使用壽命 | |
| 低電力消耗(1.0W), 約水銀燈管的 1/5 | |
| 高速電子快門方式 |
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| 細線路對應 |
高精度對位機構 |
| (高解析度, 高精度) | 光罩自動清潔機構 |
| 高性能HEPA過濾系統 |
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| 全自動卷式近接曝光 | 雙列全自動曝光, 高生產效率 |
| 自動材料清潔機構, 有效降低生產不良 |
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| 作業便利 |
光罩獨立機構, 容易交換, 好操作 |