MA-5111ML自動近接式曝光設備
Sheet type
Automatic proximity exposure system
| 單片式 曝光系統 |
| 全自動近接式曝光系統，配備可存儲四個光罩的光罩庫。 （最大有效曝光面積：730×920mm） |
| 獨特的光學間隙感應器允許高速、高精度地設定光罩和基板之間的近接間隙。（非接觸式系統） |
| 獨特的非接觸式光學邊緣感應器, 實現基板精確定位。 |
| 獨特的高速畫像處理技術, 可實現光罩與基板的高精度對位。 |
| 適用於 STN、C-STN、CF、OLED、Touch panel的量產。 |